MEMS-teknologia

Teknologiaa liikkeen ja paineen mittaamiseen

"Anturi on silta kolmiulotteisen ympäristömme ja tietojärjestelmien välillä. 3D-maailman ilmiöitä ei voi mitata tehokkaasti ja tarkasti turvaamatta 3D-teknologiaan. Siksi  olemme kehittäneet 3D MEMS-teknologian liike- ja paineantureille."


Heikki Kuisma, Director, Advanced Development
etunimi [dot] sukunimi [at] murata [dot] fi

 

Murata Electronics Oy:n kapasitiiviset anturit valmistetaan yksikiteisestä piistä ja lasista. Nämä aineet takaavat poikkeuksellisen luotettavuuden, ennennäkemättömän tarkkuuden, erinomaisen stabiilisuuden ja pitkän eliniän äärimmäisissä ympäristöolosuhteissa. Valmistusmenetelmät on lainattu puolijohdeteollisuudelta, mikä takaa massatuotantokyvyn ja kustannustehokkuuden. Lisäksi on kehitetty MEMS:lle ominaisia teknologioita kuten kiekkoliitokset ja piin syvä kuivasyövytys.

Käytämme yksinkertaista ja stabiilia kapasitiivista mittausperiaatetta. Se perustuu kahden pinnan välimatkan muutokseen. Kahden pinnan välinen kapasitanssi, siis varauksen varastointikyky, riippuu niiden etäisyydestä ja päällekkäisen alueen pinta-alasta.  3D MEMS -anturimme ovat mekaanisesti lujia rakenteita, jotka kuitenkin ovat hyvin herkkiä hitausvoimille tai paineelle. Ne ovat hyvin epäherkkiä muille ympäristön suureille ja ilmiöille sekä tunteettomia vikamekanismeille. Kiihtyvyys- ja kulmanopeusantureissa symmetria ja muut terveet suunnitteluperiaatteet parantavat stabiilisuutta, lineaarisuutta, suuntapoikkeamaa ja herkkyyttä tärinälle.

Tuotteidemme 3D MEMS-rakenteet ovat itsessään hermeettisesti suljettuja kiekkotason suljentaprosessilla. Se helpottaa vaatimuksia niiden koteloinnille. Hiukkaset tai kemikaalit eivät pääse suljetun anturin sisälle; se varmistaa luotettavuuden. Olemme piikiekkojen läpivientiteknologian pioneeri: sähköiset kontaktit suljetun anturin sisältä tuodaan suljentakiekon pinnalle. Tämä säästää anturin pinta-alaa ja yksinkertaistaa kotelointia ja liittämistä.

Sovelluksen tarpeen mukaan voi kiihtyvyysanturin, kulmanopeusanturin tai paineanturin suunnitella vaadittuun herkkyyteen, mittausalueelle tai taajuusvasteeseen. Kiihtyvyysantureita ja kulmanopeusantureita on saatavana asennustasossa ja sitä vastaan kohtisuoraan sekä myös kaikkiin kolmeen suuntaan yhtaikaa mittaavia. Kulmanopeusantureilla voi havaita hyvin hitaita ilmiöitä kuten maan pyörimisen ja hyvin nopeita kuten ihmiskäden liike.

Tuotteissamme käytetään monen sirun "System-in-package" kotelointi- ja liitäntäteknologioita. Niillä yhdistetään anturin tuntoelimet signaalinkäsittelypiiriin. Autoteollisuus- ja instrumenttituotteissa käytetään hyvin kestäviä ja luotettavia esivalettuja muovikoteloita. Kulutuselektroniikkaa varten on kehitetty kiekkotason liitäntä- ja kotelointiteknologioita. Niillä saavutetaan pienin mahdollinen koko ja alhainen kustannus.

 

Copyright © 2012 Murata Electronics Oy